挑战

真空泵功率对这些物理气相沉积工艺和镀膜机的周期时间、生产率和工艺稳定性有着直接影响。

它们用于工艺室内部，是影响工艺和产品质量的重要组件。为了满足客户的要求和运营目标，Kolzer 需要一系列真空产品来实现以下目标：

· 更好地控制整个工艺

· 抽速快，缩短周期时间

· 低运营成本

· 节能工艺，减少排放

· 提高成品质量

解决方案

在了解了 Kolzer 真空需求的各个方面之后，EDWARDS 建议使用我们的干式螺杆真空泵：GXS 750-4200 和 GXS 450-2600。

可持续发展和清洁技术是 Kolzer 的标志性特点，我们行业领先的干式泵技术拥有合适的抽吸功率、压力值和低能耗。较快的泵抽速缩短了周期时间，从而降低了运营成本。我们的 GXS 和相应的真空装置帮助他们的机器在成品生产中获得了优异的质量。智能无油设计还减少了频繁清洁，使维护和装配变得更轻松。

在控制方面，数字管理系统确保更好地监测工艺本身（包括为创造理想的沉积条件而对腔室抽空），并分析所有数据以改进产品开发。