一、无油密封涡旋泵（HiScroll系列）

· ‌核心技术‌：采用‌无油密封设计‌与PM同步电机，相比传统驱动能耗降低15%；运行时噪音为市场最低水平，振动极低，适用于精密检测系统1。

· ‌智能控制‌：通过接口实现转速调节、情境化风扇控制及实时性能监控，显著延长保养周期并减少磨损1。

· ‌安全保障‌：集成双级气镇阀和止回阀，适配多样化工况；高耐用零部件确保长寿命，维护成本低1。

二、5轴磁悬浮涡轮分子泵（HiPaceM/ATH500M系列）

· ‌零维护技术‌：5轴磁轴承实时控制转子位置，自动校准动平衡，实现无磨损、无润滑油运行，彻底免除维护需求23。

· ‌超强兼容性‌：集成电子驱动单元，支持多种接口标准，适配半导体、镀膜、等离子蚀刻等高端工业场景2。

· ‌性能优势‌：低能耗、低震动，转子位移自动修正功能保障长期稳定性，在干蚀刻等严苛工艺中处于行业标杆地位

三、干式多级罗茨真空泵（A3XN/A4X系列）

· ‌耐腐蚀设计‌：镍涂层技术大幅提升耐腐蚀性，在半导体蚀刻等强腐蚀环境中寿命延长高达5倍46。

· ‌能效革新‌：多级罗茨结构结合优化电机，能耗比传统泵降低50%；宽温区设计防止可凝物沉积，保障连续运行可靠性46。

· ‌智能监控‌：扩展传感器实时跟踪温度与惰性气体冲洗状态，空闲模式进一步节能，符合ISO 20712安全标准6。

️四、干式螺杆泵（Hepta P系列）

· ‌密封灵活性‌：可选迷宫式密封、滑环密封或唇形密封，支持液体冲洗工况，通过密封气体/气镇增强工艺适应性5。

· ‌经济性‌：长维护间隔与低故障率显著降低综合运营成本，尤其适合连续生产的工业场景5。

应用场景与维护要点

· ‌重点领域‌：半导体制造（蚀刻、高介电质沉积）、光伏板镀膜、锂电池生产及科研高真空系统46。

· ‌保养建议‌：

· 定期清理散热滤网（风冷泵）或冷却水路（水冷泵），防止油污/水垢堆积；

· 监控密封件状态，及时更换老化轴封与静密封圈；

· 专用泵油按周期更换，避免乳化影响真空度