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pHMB2400 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz
A53304958
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pHMB 近程增压泵是一种水冷的正向罗茨真空泵，通过一个交流变频器驱动。
每个泵都必须使用按制程和性能规范而选择的适当 Edwards 干泵做为后援。
注意：这些系统不适合用作独立的装置。
应用
pHMB1800 系统只应在负载锁应用中使用。
pHMB 只能与 iF 前级泵系统一起使用。
特性和优点
低运行成本
技术数据
性能
尺寸
