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商品描述
EPX500L 干式泵 200V
A41951002
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
应用
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控
特性和优点
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可最大化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，最大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
技术数据
性能
尺寸
- 购买人 会员级别 数量 属性 购买时间
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- 小型湿/千泵
- nXDS 滚轴泵|nXLi 干泵|nXRi 干式真空泵|XDS 涡旋泵|E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵|RV 旋片泵|EM18 和 28 油封旋片泵|小型 ATEX 扩散泵|隔膜泵|隔音罩
- 测量和控制
- TIC 仪表控制器|有源数字压力表|Barocel 电容压力计|Profibus 通信模块|ADC 有源数字控制器|APG100 有源皮拉尼真空计|APGX-H 有源线性对流真空计|ATC 有源热电偶压力表|ASG 有源应变真空计|AIM 有源倒磁控管真空计|WRG 有源宽量程真空计|AIGX 有源离子真空计|IGC 离子真空计控制器|1575 型压力显示屏|CG16K 膜盒度盘式真空计|IS16K 真空联锁开关|VS16K 可调真空开关|Gascheck 检漏仪
- 真空阀
- Speedivalve|球阀|PVMK 手动操作隔离阀|PVPK 气动操作隔离阀|PVEK 电磁阀操作隔离阀|前级/粗抽阀|软启动阀|ISO 插板阀|CF 插板阀|BGV 不锈钢插板阀|蝶阀|进气阀和针阀|电控气动控制阀|真空隔离阀 (VIV)
