STP 泵（带集成控制器）
STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接，从而可用于多种应用和制程中。
应用
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
特性和优点
由于采用全集成控制器和电源，不需要电缆和单独的
控制器安装卡槽，从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑，能够快速简单地安装在狭小的空间。
最大连续流量达 4300 sccm (N2)，与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
使用最高 35 °C 的冷却水供应时，泵能够高效运转。
提供了温度管理系统 (TMS) 装置，用于处理在过程中产生的副产品。
I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。
UL 标记，CE 标记，符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。
技术数据
性能
尺寸
