概述
这些产品是高性能的紧凑型装置，采用 63 mm 或 100mm Diffstak，两者均由 RV5 双级旋转泵提供支持。阀上的进气口抽速分别为 135 l s-1 和 280 l s-1。
Diffstak 配有集成的水冷却挡板，适用于手动直角回转和前级/粗抽阀。手动进气阀和皮拉尼真空计安装在旋转泵的前级线路中。该装置配备了旋转泵油，但是应该从液体和密封剂一节中选择蒸汽泵液体。其他真空计都是可选的附加装置。
应用
UHV系统
实验室真空
质谱分析和
薄膜覆层
表面物理
功能和优势
高抽速
集成的手动前级/粗抽系统
手动高真空进气口阀与水冷却进气口挡板相结合
前级线路中的有源皮拉尼规头 - 提供 Diffstak 联锁
增强了最高温度表面的安全屏蔽
脚轮是标配部件
技术数据
尺寸
