在干式泵送领域,XDS 涡旋泵已成为行业标准,在广泛的应用和过程中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方案。
XDS35i 和 XDS35i 增强型泵提供带气囊标准泵、不带气囊的泵型号(适用于稀有气体再循环和气体回收应用),以及 C 型号泵,具有 Chemraz® 内部阀门和不锈钢装置,用于提供针对泵送介质的更多保护。
XDS46i 与 XDS35i 很多特性相同,但其峰值速度为 40 m3h-1。该泵适用于在 1 mbar 到 10 mbar 入口压力下达到最高抽取速度,因此适用于需要更高抽取速度的 LCMS 和 ICPMS 应用。
C 型号进行了改装,更适用于蒸汽处理制程,可用于某些使用腐蚀性物质的应用。C 型号配备了 Chemraz® 内部阀门垫和不锈钢排气口。
Chemraz® 是 Greene Tweed 的注册商标
稀有气体再循环
气体回收
特性和优点
轴承护罩
确保制程气体和轴承润滑分离,以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染,从而延长轴承使用寿命。
智能电机驱动
意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。
高流量气囊特性
允许泵送蒸汽,包括高达 240 gh-1 的水蒸汽。
简单的单侧涡旋设计
可在数分钟内完成维护,以降低拥有成本并最大程度延长正常运行时间。
更上一层楼
增强型在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求,这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室,且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25%,这也有助于提高应用循环频率。
技术数据
技术数据和尺寸依照标准 nXDS/XDS 泵,但忽略了水蒸汽处理能力和气镇装置。