紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 线性输出。

Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。

得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。

RoHS56

技术

AIGX 在一个紧凑装置内组合了离子压力表头和压力表控制器。该压力表是一台热丝电离压力表，其压力作为电流的函数进行间接测量。AIGX 需要 14.5 - 30 V 直流电源； 它具有与压力相关的 0 至 10 V 直流模拟输出。AIGX 可兼容 Edwards TIC 控制器。或者，您也可以使用独立电源，并且可以通过伏特计或模拟-数字转换器读取输出信号。AIGX 提供两种热丝。压力表顶部的开关选择热丝 1 和热丝 2。发射电流有两个等级： 0.1 和 1 mA。该压力表在低压下将自动选择 1 mA 发射电流，在高压下选择 0.1 mA 发射电流。压力表中内置了保护电路，可防止压力表在高于 5 x 10-2 torr 的压力下运行。

可以使用脱气功能对 AIGX 进行脱气。脱气期间，电网电压为 500 V，发射电流为 10 mA。脱气在高压下被禁止。脱气最长持续时间为三分钟，之后压力表将自动返回正常模式。

AGX 具有设定点功能。设定点信号是一个开极集极晶体管输出，当压力表测量的压力低于预设压力时将开启。该设定点的运行压力可以使用压力表顶部的设定行程开关（图 1，第 3 项）进行调节。

AIGX 配备了一个状态指示 LED（图 1，第 4 项）。此 LED 指示压力表的运行状态。

应用

特性和优点

全面的 8 decade 测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：

“D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口；

“S”型具有增强的功能，与 Edwards 的各种控制器兼容

与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。

自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。

在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。

在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。

创新性设计消除了 X 射线限制的影响。

双色 LED 提供真空计状态的本地指示。

输入电压范围宽。

电子器件极易拆卸以进行最高达 200 °C 的加热。

“S”型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。

“S”型提供有诊断输出，指示“发射关闭”、“灯丝烧坏”和“过压跳闸”，以帮助进行故障排除。

“S”型提供有一个可以用按钮调整的设定点。

技术数据

性能

尺寸