nXDS15i 是下一代完全无油的干式涡旋泵,可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能,抽速更高,极限压力更低,功耗更低,噪声更小。
一般清洁泵送应用
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油,环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
研发
旋转离心蒸发器
SEM/FIB(离子束维修)
溶剂回收
表面科学仪器
特性和优点
真空外壳中不需要使用润滑剂,完全密封可保证彻底的清洁和干燥真空,防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离,从而阻止制程攻击,轴承也能以更低温度运行,使用时间更长
简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合,只需最低程度的特殊工具,就能实现轻松的现场服务,因此可降低运行成本,尽可能延长正常运行时间
改进了电机和传动效率,可降低功耗和运行成本
先进的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法,可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
技术数据
性能
尺寸