VIV 真空隔离阀适用于 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 主干泵，是一款高传导性、快动高真空隔离阀，适用于阻止蒸汽或微粒从后备泵到制程腔体的移动。VIV 关闭时，后备泵安全通气。
VIV 会保护泵停止或被停止时的制程腔体进气。重启后备泵时，如果 VIV 内的压力已经下降，该阀门则会缓慢开启，最大程度降低了任何压力突升的效应。
应用
特性和优点
· VIV 阀门具有高传导性 不限制主泵性能
· 快速关闭作用 防止微粒从后备泵进入制程腔体
· 电源故障保护 防止发生电源故障时发生制程腔体进气
· 灵活的安装选项 对于配备了 M8 阀门接头或 15 路 D 型逻辑接口接头的 Edwards 后备泵，Edwards 推荐使用 24V dc 阀门以及选配电缆或 VIV
技术数据
性能
尺寸
