BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成，用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的，可以使泵在前级管线维护期间继续运行，从而使在严苛制程中运行的泵具有最高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（绝对）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的绝对压力，并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵，但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
应用
特性和优点
与世界密封技术先驱 VAT 合作开发。
不锈钢结构，采用获得专利的可靠设计，使用寿命长
简单的无油脂机构最大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
可以在 1 bar 差压下运行，因此无需进行压力平衡
维修方便，只需要廉价的易耗品，低运行成本
表面光滑，易于清洁
提供时已安装螺线管和电线，便于订购和安装
即插即用，在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容
技术数据
性能
尺寸
