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    STP-iXA4506C VG300 YT780Z000

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商品描述

STP-iXA4506C VG300 YT780Z000


STP 泵(带集成控制器)

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的首选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至最低。STP 泵可与各种先进的控制器全面连接,从而可用于多种应用和制程中。


应用

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

特性和优点

由于采用全集成控制器和电源,不需要电缆和单独的

控制器安装卡槽,从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑,能够快速简单地安装在狭小的空间。

最大连续流量达 4300 sccm (N2),与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。

使用最高 35 °C 的冷却水供应时,泵能够高效运转。

提供了温度管理系统 (TMS) 装置,用于处理在过程中产生的副产品。

I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。

UL 标记,CE 标记,符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。

技术数据

性能

尺寸

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