Edwards新 SCU-350 是一种符合 EU-RoHS 标准适合小型涡轮泵使用的控制器。它完全兼容当前的控制器型号，但是低频范围下的抗振性更好它的输入电压也较低，有助于降低电气容量和了功耗。SCU-350的电噪抗扰度更好，配备了通用电压功能，工作电压范围为 100-240 VAC 目无需切换
应用
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋
特性和优点
技术数据
性能
尺寸
