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配备了 TC 110 RS 的 HiPace® 60 P,DN 63 ISO-K
PM P04 693 A
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具有最高 64 l/s 对于 N2 抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵
集成驱动电子装置 TC 110 RS
直接在 TC 110 RS 上的 4 个配件端口和 RS-485
可在任何方向安装
理想适用于可靠系统集成
工艺过程适宜,即耐灰尘
广泛的配件扩展使用范围
技术数据
产品尺寸