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  • VIV25EKA 100-115V AC A50637501
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商品描述

 VIV25EKA 100-115V AC A50637501


VIV 真空隔离阀适用于 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 主干泵,是一款高传导性、快动高真空隔离阀,适用于阻止蒸汽或微粒从后备泵到制程腔体的移动。VIV 关闭时,后备泵安全通气。

VIV 会保护泵停止或被停止时的制程腔体进气。重启后备泵时,如果 VIV 内的压力已经下降,该阀门则会缓慢开启,最大程度降低了任何压力突升的效应。



应用

    

特性和优点

·  VIV 阀门具有高传导性 不限制主泵性能

·  快速关闭作用  防止微粒从后备泵进入制程腔体

·  电源故障保护  防止发生电源故障时发生制程腔体进气

·  灵活的安装选项  对于配备了 M8 阀门接头或 15 路 D 型逻辑接口接头的 Edwards 后备泵,Edwards 推荐使用 24V dc 阀门以及选配电缆或 VIV


技术数据


性能


尺寸




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