这类阀是软启动的气动操作阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
应用
波纹管密封的阀门单向执行，采用气动打开，弹簧封闭。产品随附三个可更换孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。标准配置中包含一个微开关，用于指示阀门状态。阀门和微开关都可以加热到 100°C 以加速脱气，防止制程气体在阀门内冷凝。
尽管阀门主要设计用于半导体行业，但也可以用在其他需要受控抽气的应用中。
特性和优点
平均无故障时间可达 5000000 个循环
抽气受控制以适合相关制程
铝阀体
100% 无油脂的真空
在断电时阀可以快速反应
采用波纹管密封以保证清洁操作
孔板可更换，维护方便
供货时带有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更换孔板
可加热到 100 °C 以防制程气体冷凝板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
技术数据
性能
尺寸
